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洁净室验收及检测设备、方法全介绍

洁净室又可称作无尘室(Cleanroom),通常用作专业工业生产或科学研究的一部分,包括制造药品,集成电路,CRT,LCD,OLED和microLED显示器等。洁净室的设计是为了保持极低水平的微粒,如灰尘,空气中的生物体,或汽化的微粒。确切地说,洁净室有一个受控的污染水平,该水平由在指定的颗粒尺寸下每立方米的颗粒数来规定。洁净室也可指任何给定的容纳空间,在该空间中设置了减少微粒污染和控制其他环境参
产品描述
检测指标

洁净室验收及检测项目

风量或风速、室内静压差、空气洁净度等级、换气次数、室内浮游菌和沉降菌、温度和相对湿度、平均速度、速度不均匀度、噪声、气流流型、自净时间、污染泄露、照度(照明)、甲醛、细菌浓度。

1、医院洁净手术部风速、换气次数、静压差、洁净度级别、温湿度、噪声、照度、细菌浓度。

2、医药工业洁净厂房:空气洁净度等级、静压差、风速或风量、气流流型、温度、相对湿度、照度、噪声、自净时间、已安装过滤器泄漏、浮游菌、沉降菌。

3、电子工业洁净厂房:空气洁净度等级、静压差、风速或风量、气流流型、温度、相对湿度、照度、噪声、自净时间。

4、食品工业洁净用房:定向气流、静压差、洁净度、空气浮游菌、空气沉降菌、噪声、照度、温度、相对湿度、自净时间、甲醛、Ⅰ级工作区截面风速、开发的洞口风速、新风量。

洁净室竣工验收

洁净室竣工以后和投产后,都需要进行性能测定和验收;在系统大修或更新时,也要进行全面测定,在测定前对洁净室的概况必须全面了解。

主要内容包括净化空调系统和工艺布置的平、剖面图及系统图对空气环境条件洁净度级别温、湿度风速等的要求空气处理方案送回风、排风量及气流组织人、物净化方案洁净室的使用情况厂区及其周围污染情况等。

(一)洁净室竣工验收的外观检查应符合以下要求

1、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等的安装应正确、牢固、严密其偏差应符合有关规定。

2、高、中效空气过滤器与支撑框架的连接及风管与设备的连接处应有可靠密封。

3、各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。

4、净化空调箱、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘。

5、洁净室的内墙面、顶棚表面和地面应光滑、平整、色泽均匀不起灰尘地板无静电现象。

6、送回风口及各类末端装置、各类管道、照明和动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时穿越处的密封处理应严密可靠。

7、洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线、管口应密封可靠。8各种刷涂、保温工作应符合有关规定。

洁净室环境控制

洁净室中对环境的控制主要有八个项目,根据达成的先后和逻辑顺序,排列如下:

其中照度、噪音会影响工作人员的舒适性;洁净度、正压、静风电阻、FFU泄露会影响到半导体制程;温湿度既会影响人员的舒适性又会影响到制程。特定生产制程,对温湿度有较高要求,而洁净度会影响制程良率。因此在日常运行中,IPQC会针对洁净度和温湿度进行管控。

一般来讲,空气中含灰尘微粒浓度高则空气洁净度低,含灰尘微粒浓度低则洁净度高。洁净度的高低可以用洁净度等级来区分。洁净度级别则以每立方米空气中的允许微粒数来确定。ISO-14644是国际标准,现在美国、欧洲、日本、俄罗斯和我国都采用此标准。美国原来应用的是美国联邦标准209A、B、C、D、E,现在美国也不用了。原来我们熟悉的100级、1000级、10000级和100000级都是源自美国联邦标准FS 209B。根据ISO 14644系列国际标准,洁净室可分为九个等级,从1级到9级,其中1级洁净度最高,9级最低。

ISO-14644的洁净度等级标准如下:

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其中,1级和2级洁净室通常用于制造高精度产品,如硬盘驱动器和电子设备等。这些洁净室的控制要求非常高,需要严格控制空气中的悬浮粒子浓度和温度。3级到8级洁净室适用于不同行业的制造过程,例如半导体制造、制药和医疗器械制造等。这些洁净室的控制要求各不相同,但都需要保持空气中的悬浮粒子浓度和温度在规定的范围内。9级洁净室是最不严格的等级,通常用于不需要高度控制环境的情况,例如仓库和办公室等。

洁净室环境检测依据

包括规范、图纸、设计文件和设备的技术资料等,分以下二类。

1、设计类设计文件、设计变更的证明文件及有关协议、竣工图。

2、设备的技术资料。

3、《洁净厂房设计规范》GB50073-20012、施工安装类《通风与空调工程施工质量验收规范》GB50243-2002




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