洁净室空气污染控制：高效过滤器（HEPA）重要性及检漏方法和标准
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- 来源：利菲尔特
- 发布时间：2023-09-09
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洁净室空气污染控制：高效过滤器（HEPA）重要性及检漏方法和标准
【概要描述】洁净室需要空气过滤器，以防止污染物通过其暖通空调系统进入洁净室。洁净室是受控制的环境，其中温度/湿度、压力和颗粒物的控制对于最佳操作性能至关重要。洁净室是根据特定工艺所需的清洁度进行设计的。在进行微芯
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高效过滤器在洁净室的作用：
洁净室需要空气过滤器，以防止污染物通过其暖通空调系统进入洁净室。洁净室是受控制的环境，其中温度/湿度、压力和颗粒物的控制对于最佳操作性能至关重要。洁净室是根据特定工艺所需的清洁度进行设计的。在进行微芯片制造的半导体行业中，空气过滤具有更高的效率，因为微芯片对颗粒非常敏感，尤其是在处理晶片时会楔入晶片上导电电路之间的小颗粒。
高效微粒空气过滤器（HEPA）-这些过滤器在污染控制方面非常有效。它们过滤小到0.3微米的颗粒，广泛用于制药设施。ULPA（超高颗粒空气过滤器）可过滤0.12微米以下的颗粒，广泛用于半导体设备。
通过几个活动管理洁净室内的污染控制高效空气过滤器或UPLA过滤器在洁净室中的作用至关重要。高效微粒空气（HEPA）过滤器的效率最高必须达到99.97%穿透颗粒，0.3微米。该效率评级由美国能源部于以成为真正的高效空气过滤器。
根据大多数美国人采用的美国能源部（DOE）标准的定义工业中，高效空气过滤器在直径过滤器对气流的最小阻力或压降通常规定在300帕斯卡（0.044磅/平方英寸）。
欧盟使用的规范：欧洲标准EN 1822-1:2009定义了HEPA过滤器的类别，通过其在给定的最具穿透性的颗粒尺寸（MPPS）下的保持力。
根据GMP，过滤器必须无泄漏。根据ISO 14644-3，通过鉴定和定期进行泄漏测试来验证这一点。高效空气过滤器结构、性能、标签和认证的推荐做法由环境科学研究所维护以及美国保险商实验室（UL）。主要要求包括：
■ IEST-RP-C021“测试HEPA和ULPA介质，该介质管理过滤器的要求媒体
■ IEST-RP-CC001“高效微粒空气过滤器和超微粒空气过滤器”，管理整个过滤器结构和标签要求
■ IEST-RP-C034“HEPA和ULPA过滤器泄漏测试，适用于HEPA和UL PA过滤器渗透（泄漏）试验
■ 符合UL900可燃性要求的测试和认证
■ 美国标准MIL-STD-282
其他测试标准包括：
■ ISO 14644-3试验方法——合格者在安装过滤器泄漏试验过程中使用
■ ISO 29463（2017）-用于去除空气中颗粒的高效过滤器和过滤介质
■ ISO 16890（2017）-一般通风用空气过滤器
■ PIC/s PI 032-2 GMP指南
■ 高效微粒空气过滤器/超微粒空气过滤器制造商使用的EN1822
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